技術(shù)文章
TECHNICAL ARTICLES邊Borderless產(chǎn)品觀查導(dǎo)電粒子
產(chǎn)品說(shuō)明:使用光源,偏光片<0.09mm(條件待確認(rèn)),鏡頭前偏光片消除偏光效應(yīng)后,再調(diào)整光路上之干涉相位差
測(cè)量顯微鏡工作原理如圖所示,被測(cè)工件置于工作臺(tái)上,在底光或表面光照明下,它由物鏡成放大像,經(jīng)過分光與反射系統(tǒng)后,一路成像于目鏡分劃板上,人眼通過目鏡可觀察到一個(gè)放大的正像;另一路成像于彩色CCD上,攝像機(jī)攝取工件像后通過網(wǎng)口傳送至計(jì)算機(jī)及彩色液晶顯示器上,顯示出一個(gè)與工件*同向的放大清晰影像。
我們可以通過目鏡或液晶顯示器對(duì)工件像進(jìn)行瞄準(zhǔn)定位,通過數(shù)字測(cè)量系統(tǒng):光柵尺與專業(yè)測(cè)量軟件對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理,即光柵尺的信號(hào)與計(jì)算機(jī)主機(jī)通訊,供專業(yè)軟件進(jìn)行測(cè)量和數(shù)據(jù)處理。
目視測(cè)量系統(tǒng)還可以利用目鏡分劃板上預(yù)先刻制好的標(biāo)準(zhǔn)圖形對(duì)工件進(jìn)行比較測(cè)量。
底光照明光源與顯微鏡自帶表面光源,視工件的性質(zhì)兩種照明可分別使用,也可同時(shí)使用。
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