技術(shù)文章
TECHNICAL ARTICLES 影像測(cè)量?jī)x的誤差來(lái)源
在影像測(cè)量?jī)x上的測(cè)量均是單軸或者是二維平面坐標(biāo)的測(cè)量,測(cè)量時(shí)先對(duì)焦,后對(duì)準(zhǔn),再讀數(shù),后計(jì)算處理。讀書(shū)來(lái)自于標(biāo)尺即光柵系統(tǒng),對(duì)焦對(duì)準(zhǔn)依靠顯微鏡光學(xué)系統(tǒng),還有一個(gè)直接影響測(cè)量效果和精度的照明光源,因?yàn)椋谟跋竦姆椒y(cè)量的儀器,如果被測(cè)件不能被有效的正確照明,則測(cè)量的結(jié)果顯然要偏離其真實(shí)尺寸。除前述因素外,環(huán)境條件也是制約測(cè)量精度不可忽視的因素。那么這些誤差是怎么來(lái)的呢?
1.光柵技術(shù)尺的誤差
2.工作臺(tái)移動(dòng)時(shí)存在的直線度、角擺帶來(lái)的誤差
3.工作臺(tái)兩側(cè)測(cè)量軸垂直帶來(lái)的誤差
4.顯微鏡光軸與工作臺(tái)面不垂直帶來(lái)的誤差
5.測(cè)量室溫度帶來(lái)的誤差
6.光源照明條件的變化帶來(lái)的對(duì)焦和對(duì)準(zhǔn)的誤差
在這幾種因素中,前四項(xiàng)誤差是硬件誤差,在影像測(cè)量?jī)x制造過(guò)程中已經(jīng)形成并固定下來(lái),一般無(wú)法改變;溫度影響帶來(lái)的誤差,通過(guò)控制測(cè)量室的溫度和等溫過(guò)程來(lái)減小其影響。
后一項(xiàng)常被忽視,而在實(shí)際測(cè)量中,當(dāng)光源照明條件改變時(shí),直接影響被測(cè)量工件的照明效果和影像質(zhì)量,主要是因?yàn)橛跋駵y(cè)量?jī)x的圖像是通過(guò)CCD接收,盡管CCD具有自動(dòng)調(diào)節(jié)增益的功能,但亮度過(guò)大時(shí)即失去調(diào)節(jié)功能,導(dǎo)致被測(cè)工件影像在縮小,當(dāng)亮度過(guò)低時(shí),工件影像反而變大。
Copyright © 2024北京品智創(chuàng)思精密儀器有限公司 All Rights Reserved 備案號(hào):京ICP備19005501號(hào)-1
技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng)
管理登錄 sitemap.xml